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蝕刻技術其特征在于：
1.）蝕刻速率（安培/分鐘）
2.）選擇性：S=蝕刻速率材料1/蝕刻速率據(jù)說材料2對材料1比對材料2具有S的選擇性。
3.）各向異性：A=1-橫向蝕刻速率/垂直蝕刻速率
4.）欠切：如果0.8 um的線是由使用1 um的光致抗蝕劑線作為掩模的蝕刻產(chǎn)生的，那么對于該特定的蝕刻，據(jù)說工藝偏差是0.1um。
蝕刻是使用強酸切入金屬表面未受保護的部分，以在金屬上產(chǎn)生凹版設計(通過切割、雕刻或雕刻成平面來產(chǎn)生圖像)的過程。作為一種凹版版畫制作方法，它和雕刻一樣，是舊原版版畫重要的技術，至今仍被廣泛使用。
將印版和一張紙(通常會被弄濕使其變軟)一起放入高壓印刷機。紙張從蝕刻的線條上吸取墨水，形成印刷品。該過程可以重復多次；典型地，在印版顯示出太多磨損跡象之前，可以印刷幾百個印痕。板上的工作也可以通過重復整個過程來添加；這就產(chǎn)生了一種蝕刻，這種蝕刻以多種狀態(tài)存在。蝕刻經(jīng)常與其他凹版技術如雕刻或水彩結合使用。
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