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氧化鋁微粒是拋光液中的主要成分,其顆粒大小決定了拋光液的磨料性能。較小的顆??商峁└?xì)膩的拋光效果,而較大的顆粒則適用于粗糙表面的拋光。此外,氧化鋁微粒還具有高硬度和耐磨性,能夠有效去除表面的劃痕和瑕疵。
氧化鋁拋光液,涉及半導(dǎo)體碳化硅晶圓拋光材料制備技術(shù)領(lǐng)域,其所用原料的重量百分比分別為:氧化鋁0.5?55、氧化劑0.05?25、抑制劑0.1?10、表面活性劑0.01?12、分散劑0.01?15、pH調(diào)節(jié)劑0.1?10、余量為高純水;其制備過(guò)程為:①備料;②磨料預(yù)處理;③混合;④pH值調(diào)節(jié);⑤高壓均質(zhì)。
氧化鋁拋光液是一種應(yīng)用在金相拋光中的磨料。其實(shí),它的作用還遠(yuǎn)不止于此。它還可以去除樣品表面肉眼不可見(jiàn)的表面變形層,尤其是使用高倍物鏡、偏振光、微分干涉或EBSD 技術(shù)檢測(cè)或是評(píng)定樣品時(shí)。對(duì)于一些做鑄鐵、鋼、不銹鋼、銅、聚合物、礦物質(zhì)、微電子、貴金屬等金相樣品制備的實(shí)驗(yàn)室來(lái)說(shuō),氧化鋁拋光液是的一種磨料。
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