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來自空氣壓縮機的壓縮空氣，首入冷干機脫除水分，然后進入由兩臺吸附塔組成的PSA制氮裝置，利用塔中裝填的碳分子篩吸附劑選擇性地吸附掉O2、CO2等雜質氣體組分，而作為產品氣N2將以99%的純度由塔頂排出。 [1]
吸附劑再生
在降壓時，吸附劑吸附的氧氣解吸出來，通過塔底逆放排出，經吹洗后，吸附劑得以再生。完成再生后的吸附劑經均壓升壓和產品升壓后又可轉入吸附。兩塔交替使用，達到連續(xù)分離空氣制氮的目的。
自然界中存在一種天然硅鋁酸鹽，它們具有篩分分子、吸附、離子交換和催化作用。這種天然物質稱為沸石，人工合成的沸石也稱為分子篩。分子篩的化學組成通式為：(M)2/nO· Al2O3·xSiO2·pH2O，M代表金屬離子(人工合成時通常為Na)，n代表金屬離子價數， x代表SiO2的摩爾數，也稱為硅鋁比，p代表水的摩爾數。分子篩骨架的基本結構是 SiO4和AlO4四面體，通過共有的氧原子結合而形成三維網狀結構的結晶。這種結合形式，構成了具有分子級、孔徑均勻的空洞及孔道。由于結構不同，形式不同，“籠”形的空間孔洞分為α、β、γ、六方柱、八面沸石等 “籠”的結構。A型、X型和Y型分子篩的晶體結構見圖1，圖2。
深冷制氮不僅可以生產氮氣而且可以生產液氮，滿足需要液氮的工藝要求，并且可在液氮貯槽內貯存，當出現氮氣間斷負荷或空分設備小修時，貯槽內的液氮進入汽化器被加熱后，送入產品氮氣管道滿足工藝裝置對氮氣的需求。深冷制氮的運轉周期（指兩次大加溫之間的間隔期）一般為1年以上，因此，深冷制氮一般不考慮備用。而變壓吸附制氮只能生產氮氣，無備用手段，單套設備不能連續(xù)長周期運行。
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