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化學組分上的均勻性： 就是說在薄膜中，化合物的原子組分會由于尺度過小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性，SiTiO3薄膜，如果鍍膜過程不科學，那么實際表面的組分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，鍍的膜并非是想要的膜的化學成分，這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。 具體因素也在下面給出。
眾所周知，真空鍍膜機的運行狀態(tài)將直接影響鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量。為了更好地運行，有必要對真空鍍膜機進行維護。那么，你知道真空鍍膜機維護的意義嗎? 設(shè)備的日常維護就是發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)中的異?，F(xiàn)象，盡早解決。如果發(fā)現(xiàn)機械泵的油量減少，應(yīng)該添加。不要認為應(yīng)該定期換油。否則，在進行維護時，泵的轉(zhuǎn)子可能會嚴重磨損。比如有些軸承工件被夾住，就要更換軸承;否則壞了，問題就嚴重了，可能會出現(xiàn)電機燒毀等問題。
真空是支撐真空鍍膜機運行的環(huán)境，尤其是需要高真空度的設(shè)備。通常，我們需要達到高的真空度，而抽氣系統(tǒng)的功能是不可缺少的。但是除了抽氣系統(tǒng)之外，真空鍍膜設(shè)備的操作還有一點，就是工件的脫氣。有些工件內(nèi)部有大量氣體和水分，在設(shè)備加熱時會排入真空室，降低真空度。更有甚者，有些氣體含有有毒成分，直接破壞真空室內(nèi)部機械結(jié)構(gòu)，導致設(shè)備無法正常運行。
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