聚對(duì)二甲苯涂層完全保形，厚度均勻，無(wú)針孔。這是 聚對(duì)二甲苯涂層設(shè)備通過(guò)氣相沉積聚合方法實(shí)現(xiàn)的，其中涂層由無(wú)氣體單體和中間液體階段形成。結(jié)果，具有尖銳邊緣、點(diǎn)、平坦表面，裂縫或暴露內(nèi)表面的部件構(gòu)造被均勻地涂覆而沒(méi)有空隙。聚對(duì)二甲苯涂層提供了對(duì)濕氣和氣體具有非常低滲透性的屏障。聚對(duì)二甲苯涂層具有的機(jī)械性能，包括高拉伸強(qiáng)度。聚對(duì)二甲苯在很寬的溫度范圍（-200'c至+200'c）內(nèi)保持穩(wěn)定，允許涂有聚對(duì)二甲苯的腔室物品放入高壓滅菌器中。

聚對(duì)二甲苯涂層材料主要有 Parylene N(聚對(duì)二甲苯)、Parylene C(聚一氯對(duì)二)和 Parylene D(聚二氯對(duì)二)三種。它是采用真空熱解氣相堆積工藝制備，可制成極薄的薄膜，主要用作薄膜和涂層，用于電子元器件的電絕緣介質(zhì)、保護(hù)性涂料和包封材料等。

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