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化學(xué)組分上的均勻性: 就是說在薄膜中,化合物的原子組分會由于尺度過小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果鍍膜過程不科學(xué),那么實際表面的組分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分,這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。 具體因素也在下面給出。
關(guān)于真空鍍膜機所用的塑料材料,需要與膜層結(jié)合性高,放氣量小,受熱穩(wěn)定,一起滿意這三個條件的塑料資料是十分少的,但塑料資料在工業(yè)出產(chǎn)中的應(yīng)用卻十分廣泛,所以塑料真空鍍膜機的應(yīng)用也隨之發(fā)展起來,為了使更多的塑料投入到真空鍍膜中,常常經(jīng)過各種方法改善。
在檢漏過程中,為了做好檢漏工作,有必要注意一些問題。
,檢查虛漏是否仍為實漏,因為工件數(shù)據(jù)加熱后會出現(xiàn)不同程度的氣體,有可能被誤認為是從外部流出的氣體,這就是虛漏,要消除這種情況。
第二,測試真空室的氣密性功能,確保氣密性功能符合要求。
三、檢查漏孔的大小、形狀、方位、漏速,編制解決方案并實施。
四、得出檢測儀器檢漏的檢出率和靈敏度,要檢查刻度的泄漏情況,防止一些泄漏孔被疏忽,提高泄漏檢測的準確性。
五、掌握檢漏儀的反應(yīng)時間和消除時間,把握好時間,檢漏儀操作到位,時間少,檢漏功能一定差,時間長,浪費檢漏氣和人工電。
六、還要防止泄漏堵塞,有時由于操作失誤,在檢漏過程中,一些灰塵或液體將泄漏堵塞,認為孔的方向沒有泄漏,但當由于內(nèi)外壓差進展或其他原因?qū)е滦孤┛孜炊氯麜r,泄漏仍在那里。
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