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多晶硅鑄錠爐回收 |
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為了方便副爐室3移動到取晶位,并方便副爐室3的拆解、清理,連續(xù)拉晶單晶爐還包括副爐室升降驅動裝置12和副爐室旋轉驅動裝置13,所述所述副爐室3通過副爐室旋臂14連接在副爐室升降驅動裝置12上,以便通過副爐室升降驅動裝置12驅動副爐室旋臂14升降,并通過副爐室旋臂14帶動副爐室3升降,所述副爐室旋轉驅動裝置13連接在副爐室升降驅動裝置12和副爐室旋臂14之間,以便使得副爐室旋轉驅動裝置13隨副爐室旋臂14一起升降,并通過副爐室旋轉驅動裝置13驅動副爐室旋臂14旋轉,副爐室旋臂14又帶動副爐室3旋轉。
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提拉式單晶爐技術參數(shù)1、電源電壓:380VAC±5%2、電源頻率:50HZ 3、電源相數(shù):3相3線制4、變壓器容量:190KVA5、加熱器加熱功率:160KW6、加熱溫度:1600℃7、加熱器加熱電壓:60V8、冷爐極限真空度:<a9、晶體直徑:¢6〞~¢8〞10、熔料量 :90Kg11、主爐室尺寸:φ900×1250mm上爐室尺寸:φ900×900mm下爐室尺寸:φ900×350mm12、翻板閥通徑:φ280mm13、封頭爐蓋高度:410mm14、副爐室尺寸:φ280×250015、籽晶轉速范圍:1~40rpm16、籽晶拉速范圍:0.2~8mm/min17、籽晶快速:≥350mm/min18、籽晶在爐內有效行程:3500mm19、籽晶在副室內有效行程:2100mm20、坩堝升速范圍:0.02~1mm/min21、坩堝快速:≥100mm/min22、坩堝在爐內有效行程:400mm23、坩堝轉速范圍:1~30rpm24、兩個電極孔孔距:480mm 25、耗水量:25m3/h26、主機占地面積:2500x2000mm27、主機高度:6800mm28、主機重量:約7500Kg
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