聚對(duì)二甲苯涂層在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質(zhì)，可以生成數(shù)百微米內(nèi)任何厚度的薄膜。利用真空沉積技術(shù)可以將膜厚精度控制在1μm。此外，真空沉積的帕利靈具有均一性、保形性，無微孔無缺陷，化學(xué)性質(zhì)不活潑等優(yōu)良特性。

聚對(duì)二甲苯涂層完全保形，厚度均勻，無針孔。這是 聚對(duì)二甲苯涂層設(shè)備通過氣相沉積聚合方法實(shí)現(xiàn)的，其中涂層由無氣體單體和中間液體階段形成。結(jié)果，具有尖銳邊緣、點(diǎn)、平坦表面，裂縫或暴露內(nèi)表面的部件構(gòu)造被均勻地涂覆而沒有空隙。聚對(duì)二甲苯涂層提供了對(duì)濕氣和氣體具有非常低滲透性的屏障。聚對(duì)二甲苯涂層具有的機(jī)械性能，包括高拉伸強(qiáng)度。聚對(duì)二甲苯在很寬的溫度范圍（-200'c至+200'c）內(nèi)保持穩(wěn)定，允許涂有聚對(duì)二甲苯的腔室物品放入高壓滅菌器中。

聚對(duì)二甲苯也叫帕利靈(Parylene)是一族由對(duì)二甲基苯合成的熱塑性塑料聚合物的通稱，它是在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質(zhì)，可以生成數(shù)百微米內(nèi)任何厚度的薄膜

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