3. 開維持泵、真空計電源，真空計檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進入下一步操作。約需5分鐘。
4. 開機械泵、予抽，開渦輪分子泵電源、啟動，真空計開關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。
5. 觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達250以后，關(guān)予抽，開前機和
高閥繼續(xù)抽真空，抽真空到達一定程度后才能開右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達2×10-3以后才能開電子槍電源。 1. 總電源。
2. 同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：按電子槍控制Ⅰ電源、延時開關(guān)，延時、電源及保護燈亮，三分鐘后延時及保護燈滅，若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護燈會常亮。
3. 開高壓，高壓會達到10KV以上，調(diào)節(jié)束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動。 1. 關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。
2. 待分子泵顯示到50時，依次關(guān)高閥、前級、機械泵，這期間約需40分鐘。

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抽空時間相同，而真空度偏低，這時候關(guān)閉主閥，如真空計指針很快下降，多數(shù)情況是真空室漏，應(yīng)先查出漏點。如真空計指針下降很慢，多數(shù)情況是真空機組抽氣能力不夠，查找真空泵及閥門看哪里出現(xiàn)泄漏，或是擴散泵油污染或氧化；或前級管路密封不好，泵油不足；或泵油乳化，軸封漏油等。漏--分內(nèi)漏和外漏，較大的漏點可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，比如用蠟燭或打火機在可疑點附近逐步查尋，會發(fā)現(xiàn)火苗向漏點偏移，則可找到漏點。查找小漏和微漏：利用在高真空狀態(tài)下電離管對某些氣體反應(yīng)敏感來檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點時，電離計的指針會有明顯擺動。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計的示值穩(wěn)定了--也就是真空機組的抽氣能力和漏率平衡了，然后再噴射。好是反復(fù)幾次，確認(rèn)漏點。內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷套的設(shè)備上，查外漏沒有發(fā)現(xiàn)疑點，但是卻有以下現(xiàn)象：機械泵的抽速明顯偏低、真空計示值低、機械泵油很快乳化、真空室內(nèi)的鐵基零部件明顯銹蝕。具備以上條件基本可以確定有內(nèi)漏。

發(fā)黑通常是由于過早氧化造成的。泛黃一般是因為鋁源中含有雜質(zhì)過多，一般純度應(yīng)在4 N或5N以上。無論是涂布機的真空度不達標(biāo)，都要達到10—7倍Pa。（不準(zhǔn)確）。涂敷物品的清洗不，表面殘留有清潔劑和水。被涂物品表面溫度不合理，溫度過高或過低。涂層項目的潛在設(shè)置不合理。真空擴散泵油應(yīng)更換。調(diào)節(jié)蒸發(fā)源的溫度，不能太低或太高。如果電子束蒸發(fā)，電子束的轟擊位置也應(yīng)該調(diào)整。

1．在真空鍍膜機運轉(zhuǎn)正常情況下，開動真空鍍膜機時，先開水管，工作中應(yīng)隨時注意水壓。
2．在離子轟擊和蒸發(fā)時，應(yīng)特別注意高壓電線接頭，不得觸動，以防觸電。
3．在用電子槍鍍膜時，應(yīng)在鐘罩外圍上鋁板。觀察窗的玻璃好用鉛玻璃，觀察時應(yīng)戴上鉛玻璃眼鏡，以防X射線侵害人體。
4．鍍制多層介質(zhì)膜的鍍膜間，應(yīng)安裝通風(fēng)吸塵裝置，及時排除有害粉塵。
5．易燃有毒物品要妥善保管，以防失火中毒。
6．酸洗夾具應(yīng)在通風(fēng)裝置內(nèi)進行，并要戴橡皮手套。
7．把零件放入酸洗或堿洗槽中時，應(yīng)輕拿輕放，不得碰撞及濺出。平時酸洗槽盆應(yīng)加蓋。
8．工作完畢應(yīng)斷電、斷水。

懸浮式高真空卷繞式鍍膜機的卷繞控制要求的轉(zhuǎn)矩控制，以般采用直流驅(qū)動，但是隨著交流驅(qū)動技術(shù)的飛速發(fā)展，現(xiàn)在逐步采用交流永磁同步伺服電機或交流異步電機驅(qū)動。丹佛斯FC302系列驅(qū)動器具有伺服級的驅(qū)動性能，驅(qū)動交流異步電機也有實現(xiàn)平穩(wěn)的轉(zhuǎn)矩控制，為這個行業(yè)提供了一種易用的解決方案，用戶只需要設(shè)置幾個簡單的參數(shù)，就能滿足實際生產(chǎn)需求，操作和調(diào)試也非常簡便。
　　一、懸浮式高真空卷繞式鍍膜機的傳動結(jié)構(gòu)：
　　放卷轉(zhuǎn)向為正
　　放卷轉(zhuǎn)向為負(fù)
　　3驅(qū)動懸浮式高真空卷繞式鍍膜機的典型傳動結(jié)構(gòu)，其中：
　　M1為冷卻輥，直徑恒定，由一臺FC302驅(qū)動，冷輥的速度即為鍍膜的線速度。
　　M2為收卷輥，中心卷繞，直徑逐步變大，由一臺FC302驅(qū)動，提供收卷張力。
　　M3為放卷輥，中心卷繞，直徑逐步變小，由一臺FC302驅(qū)動，提供放卷張力。
　　冷卻輥和收卷輥的轉(zhuǎn)向是固定的，但是放卷輥由于卷筒卷繞方向不同，工作時有正、反兩種轉(zhuǎn)向，對應(yīng)反、正兩種轉(zhuǎn)矩。

　　真空鍍膜機傳動系統(tǒng)的特點：
　　1.由于真空室狹小，無法安裝張力檢測裝置，所以收、放卷張力完全要靠收、放卷驅(qū)動的電機直接控制。因此收、放卷驅(qū)動器都工作于轉(zhuǎn)矩工作模式。對于較輕較薄的材料，收卷還有張力錐度功能。
　　2.由于工藝方面的原因，起主傳動作用的冷卻輥上沒有壓輥，因此冷卻輥只能靠摩擦力帶動薄膜；收、放卷張力相差較大時，薄膜很容易在冷卻輥上打滑。如何防止打滑是驅(qū)動控制方面的難題。

現(xiàn)場實際運行證明丹佛斯FC302驅(qū)動器+MCO305運動控制器的解決方案完夠滿足真空鍍膜機的卷繞控制要求。整機加減速速度超過原來的控制方式，大大減少了原材料的浪費?？刂葡到y(tǒng)調(diào)試和參數(shù)設(shè)置都比較方便。令客戶滿意的是電機可以采用比較經(jīng)濟的交流異步電機，在張力控制精度要求更高的場合才需要升級使用交流永磁同步電機。由于FC302既能驅(qū)動異步電機，又能驅(qū)動同步電機，系統(tǒng)升級時只需簡單地更換電機即可。