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化學(xué)組分上的均勻性: 就是說(shuō)在薄膜中,化合物的原子組分會(huì)由于尺度過(guò)小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果鍍膜過(guò)程不科學(xué),那么實(shí)際表面的組分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分,這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。 具體因素也在下面給出。
濺射鍍膜又分為很多種,總體看,與蒸發(fā)鍍膜的不同點(diǎn)在于濺射速率將成為主要參數(shù)之一。濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld,組分均勻性容易保持,而原子尺度的厚度均勻性相對(duì)較差(因?yàn)槭敲}沖濺射),晶向(外沿)生長(zhǎng)的控制也比較一般。
眾所周知,真空鍍膜機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)將直接影響鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量。為了更好地運(yùn)行,有必要對(duì)真空鍍膜機(jī)進(jìn)行維護(hù)。那么,你知道真空鍍膜機(jī)維護(hù)的意義嗎? 設(shè)備的日常維護(hù)就是發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)中的異?,F(xiàn)象,盡早解決。如果發(fā)現(xiàn)機(jī)械泵的油量減少,應(yīng)該添加。不要認(rèn)為應(yīng)該定期換油。否則,在進(jìn)行維護(hù)時(shí),泵的轉(zhuǎn)子可能會(huì)嚴(yán)重磨損。比如有些軸承工件被夾住,就要更換軸承;否則壞了,問(wèn)題就嚴(yán)重了,可能會(huì)出現(xiàn)電機(jī)燒毀等問(wèn)題。
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