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多功用磁控濺射鍍膜系統,由真空鍍膜系統和手套箱系統集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完結薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氣氛下進行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸騰鍍膜與手套箱組合,實現蒸鍍、封裝、測驗等工藝全封閉制造,使整個薄膜生長和器材制備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氣氛的系統中,消除有機大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了高功用、大面積有機光電器材和電路的制備。
定期保養(yǎng),有人會問常規(guī)保養(yǎng)和定期保養(yǎng)的區(qū)別?事實上,每個設備都有使用壽命。例如,用于擴散泵的硅油具有大約兩年的使用壽命。我們早點換掉它。這是浪費嗎?不,在生產中,設備故障是不可能發(fā)生的事情。做好日常維護和定期保養(yǎng),不僅可以延長設備的使用壽命,還可以減少運行故障,提高生產效率。
暴露在空氣中的真空鍍膜機表面容易受到污染。污染源有很多,初的污染通常是地表本身的一部分。吸附現象、化學反應、浸出干燥過程、機械處理、擴散和偏析過程都增加了各種組分的表面污染物。真空材料表面的常見污染物如下。
?、儆椭?潤滑劑、切削液、真空油脂等。在加工、組裝和操作過程中被污染;
?、谒?操作時的手汗、吹氣時的水蒸氣、唾液等。
?、郾砻嫜趸?材料長時間放置在空氣中或潮濕空氣中形成的表面氧化物;
?、芩?、堿、鹽類物質:清洗時的殘留物質、手汗、水中的礦物質等。
?、莪h(huán)境空氣中的拋光殘渣、灰塵和其他有機物等。
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