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多功用磁控濺射鍍膜系統(tǒng),由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完結(jié)薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氣氛下進(jìn)行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測(cè)。蒸騰鍍膜與手套箱組合,實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測(cè)驗(yàn)等工藝全封閉制造,使整個(gè)薄膜生長和器材制備過程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氣氛的系統(tǒng)中,消除有機(jī)大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了高功用、大面積有機(jī)光電器材和電路的制備。
關(guān)于真空鍍膜機(jī)所用的塑料材料,需要與膜層結(jié)合性高,放氣量小,受熱穩(wěn)定,一起滿意這三個(gè)條件的塑料資料是十分少的,但塑料資料在工業(yè)出產(chǎn)中的應(yīng)用卻十分廣泛,所以塑料真空鍍膜機(jī)的應(yīng)用也隨之發(fā)展起來,為了使更多的塑料投入到真空鍍膜中,常常經(jīng)過各種方法改善。
真空鍍膜中常用的塑料,ABS是早運(yùn)用的,是一起滿意三個(gè)條件的塑料,A代表丙烯腈,B代表丁二烯,S代表苯乙烯,塑料中含有以上三種物質(zhì)的便是ABS塑料了,ABS鍍上膜層后,能夠很好的發(fā)揮其機(jī)械功能、抗沖擊性,依靠其硬度大,耐磨損,本錢不高,常常被用于替代某些金屬機(jī)械零部件,也用于出產(chǎn)家用電器的外殼,但由于含有丁二烯,ABS不能在室外運(yùn)用,否則會(huì)變色。
PETP聚對(duì)苯二甲酸乙二醇醋,簡(jiǎn)稱聚酯,是繼ABS后又一種滿意三種條件的塑料,所鍍的膜層具有很好的拉伸強(qiáng)度,耐性大。PS聚苯乙烯能夠接受100℃以下的溫度,真空鍍膜的習(xí)慣性也好,無色無味,耐酸堿性,是一種十分好的絕緣資料,不過由于容易脆裂,所以用處不是很廣泛。PC聚碳酸酯也能夠進(jìn)行真空鍍膜,機(jī)械功能和抗沖擊性也好,但價(jià)格相對(duì)來說比較高,并且在成型時(shí)如果控制欠好,容易發(fā)生開裂。PA聚酰胺真空鍍膜后能夠防油防潮,遮光和隔熱功能也十分好,能夠作為出產(chǎn)包裝產(chǎn)品的資料。
聚乙烯由于真空鍍膜習(xí)慣差,但經(jīng)過改造后仍是能夠用于真空鍍膜的,但只能出產(chǎn)等級(jí)低的包裝產(chǎn)品或隔熱產(chǎn)品,聚丙烯比聚乙烯受熱更穩(wěn)定,并且十分輕,所以其利用價(jià)值比較高,不過聚丙烯與膜層的結(jié)合性比較差,所以表面處理后才能進(jìn)行鍍膜,膜層作裝飾作為,使產(chǎn)品更漂亮。
眾所周知,真空鍍膜機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)將直接影響鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量。為了更好地運(yùn)行,有必要對(duì)真空鍍膜機(jī)進(jìn)行維護(hù)。那么,你知道真空鍍膜機(jī)維護(hù)的意義嗎? 設(shè)備的日常維護(hù)就是發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)中的異常現(xiàn)象,盡早解決。如果發(fā)現(xiàn)機(jī)械泵的油量減少,應(yīng)該添加。不要認(rèn)為應(yīng)該定期換油。否則,在進(jìn)行維護(hù)時(shí),泵的轉(zhuǎn)子可能會(huì)嚴(yán)重磨損。比如有些軸承工件被夾住,就要更換軸承;否則壞了,問題就嚴(yán)重了,可能會(huì)出現(xiàn)電機(jī)燒毀等問題。
真空鍍膜機(jī)的污染物可以定義為“任何一種無用的物質(zhì)或能量”。多弧離子鍍膜機(jī)根據(jù)污染物的物理狀態(tài)可分為固態(tài)、氣態(tài)和液態(tài),污染物以薄膜或顆粒的形式存在。就其化學(xué)特性而言,它可以是離子態(tài)或共價(jià)態(tài),無機(jī)態(tài)或有機(jī)態(tài)。
真空是支撐真空鍍膜機(jī)運(yùn)行的環(huán)境,尤其是需要高真空度的設(shè)備。通常,我們需要達(dá)到高的真空度,而抽氣系統(tǒng)的功能是不可缺少的。但是除了抽氣系統(tǒng)之外,真空鍍膜設(shè)備的操作還有一點(diǎn),就是工件的脫氣。有些工件內(nèi)部有大量氣體和水分,在設(shè)備加熱時(shí)會(huì)排入真空室,降低真空度。更有甚者,有些氣體含有有毒成分,直接破壞真空室內(nèi)部機(jī)械結(jié)構(gòu),導(dǎo)致設(shè)備無法正常運(yùn)行。
與傳統(tǒng)的鍍膜方法相比,真空鍍膜屬于干法鍍膜,其主要方法有以下幾種:
1.真空蒸發(fā)
其原理是在真空條件下,用蒸發(fā)器加熱蒸發(fā)材料使其蒸發(fā)或升華,蒸發(fā)的離子流直接射向基片,在基片上沉積固體薄膜。
2.濺射涂層
濺射鍍膜是一種真空條件,在陰極施加2000V高壓激發(fā)輝光放電,帶正電的氬離子撞擊陰極噴出原子。濺射的原子通過惰性氣氛沉積在襯底上形成薄膜。17_副本.jpg
3.離子電鍍法
即干式螺桿真空泵制造商已經(jīng)推出的真空離子涂層。它是在上述兩種真空鍍膜技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,所以具有兩者的工藝特點(diǎn)。在真空條件下,工作氣體或蒸發(fā)物質(zhì)(膜材料)通過氣體放電被部分電離,蒸發(fā)物質(zhì)或其反應(yīng)物在離子轟擊下沉積在基片表面。在成膜的過程中,襯底總是受到高能粒子的轟擊,這使得它非常干凈。
4.真空卷繞涂層
真空鍍膜是通過物理氣相沉積在柔性基板上進(jìn)行連續(xù)鍍膜的技術(shù),以實(shí)現(xiàn)柔性基板的某些功能性和裝飾性。
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