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因此，這些材料不會出現(xiàn)津析、排氣或萃取問題，由于聚對二甲苯能氣相沉積，它可涂覆于極細微的空間和空隙，由于其分子級聚合作用，即一次一個分子附著于沉積表面，聚對二甲苯涂層超薄，不會形成氣孔，并能敷形涂覆在元件上。聚對二甲苯還能滿足微小尺寸和極輕重量的裝置要求，任何用來保護微型裝置的材料都不得影響其體積或重量。聚對二甲苯不會顯著增加質(zhì)量，這對微型植入裝置來說是非常重要的優(yōu)勢。

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聚對二甲苯(Poly-p-xylene)，商品名帕里綸(Parylene)，是通過化學氣相沉積法制備的具有聚二甲撐苯撐結(jié)構(gòu)的聚合物薄膜的統(tǒng)稱，它有極其優(yōu)良的電性能、耐熱性、耐候性和化學穩(wěn)定性

聚對二甲苯是由Specialty Coating Systems( Indianpolis, IL)公司提供的標記聚對二甲苯基家族聚合物的一種化學名稱，是初發(fā)明聚對二甲苯的UnionCarbide公司認可的命名。商業(yè)上存在一些聚對二甲苯的替代物，它們的成分和聚對二甲苯一致，只是在合成路徑上因初始二聚體(對二二聚物)而有不同。

在MEMS應用中，聚對苯薄膜表現(xiàn)出一些非常有用的特性。這些特性包括：非常低的內(nèi)應力、可以在室溫下淀積、保角涂覆、化學惰性以及刻蝕選擇性。聚對二甲苯膜用作電絕緣層、化學防護層、保護層和密封層是十分理想的。聚對二甲苯已用來做微流控溝道、閥門和傳感器(加速度傳感器，壓力傳感器，麥克風和切應力傳感器)。通常采用控制二聚物的量來調(diào)控聚對二甲苯覆蓋層的厚度。在原位探測聚對二甲苯厚度的器與末端探測器已經(jīng)研制出來。

聚對二甲苯,是一種新型熱塑性塑料,用于制作極性薄膜或沉積涂層.
可運用在電子、電器類、資訊、通訊類產(chǎn)品，具耐酸堿、防銹及耐透氣性等功能。
由于產(chǎn)業(yè)的競爭，優(yōu)勢日漸式微。如何提升產(chǎn)品的附加價值，是業(yè)者未來發(fā)展的重要課題。為協(xié)助產(chǎn)業(yè)提升及提高產(chǎn)品的競爭力，派珂納米自國外引進的Parylene真空沉淀微米涂裝系統(tǒng)設(shè)備及真空涂裝材料，對產(chǎn)品的品質(zhì)提升與提高附加價值有相當助益。
Parylene真空微米涂裝（高分子封裝）是國外開發(fā)應用的一種新型的涂裝技術(shù)。特的「真空氣相沉積」制程，是在常溫的真空室中，讓活性分子在被涂裝的物件表面生成完全披覆的聚合物薄膜。可涂裝到任何形狀的表面，且不產(chǎn)生死角。包括尖銳的錂角隙縫內(nèi)部與極細微的針孔中。膜厚均可達到一致性的被覆在產(chǎn)品的任何部位。則薄膜厚度可由（0.001mm-0.05mm）。

聚對二甲苯是一系列具有多晶線性性質(zhì)的有機聚合涂層材料的類署名，具有很好的單位厚度絕緣性，并具有化學惰性。聚對二甲苯的種類很多，全都無需填充劑、穩(wěn)定劑、催化劑和塑化劑。
因此，這些材料不會出現(xiàn)津析、排氣或萃取問題，由于聚對二甲苯能氣相沉積，它可涂覆于極細微的空間和空隙，由于其分子級聚合作用，即一次一個分子附著于沉積表面，聚對二甲苯涂層超薄，不會形成氣孔，并能敷形涂覆在元件上。聚對二甲苯還能滿足微小尺寸和極輕重量的裝置要求，任何用來保護微型裝置的材料都不得影響其體積或重量。聚對二甲苯不會顯著增加質(zhì)量，這對微型植入裝置來說是非常重要的優(yōu)勢。

制備聚對二甲苯膜的方法有多種：涂層法、真空氣相沉積法、等離子增強化學氣相沉積法、化學氣相冷凝法。涂層法是單體溶解在中，配成一定比例的溶液，通過浸涂、噴涂或旋涂等方法制備薄膜，采用催化劑或升溫的方法聚合成聚對二甲苯膜。