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多功用磁控濺射鍍膜系統(tǒng),由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完結(jié)薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氣氛下進(jìn)行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸騰鍍膜與手套箱組合,實現(xiàn)蒸鍍、封裝、測驗等工藝全封閉制造,使整個薄膜生長和器材制備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氣氛的系統(tǒng)中,消除有機(jī)大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了高功用、大面積有機(jī)光電器材和電路的制備。
聚乙烯由于真空鍍膜習(xí)慣差,但經(jīng)過改造后仍是能夠用于真空鍍膜的,但只能出產(chǎn)等級低的包裝產(chǎn)品或隔熱產(chǎn)品,聚丙烯比聚乙烯受熱更穩(wěn)定,并且十分輕,所以其利用價值比較高,不過聚丙烯與膜層的結(jié)合性比較差,所以表面處理后才能進(jìn)行鍍膜,膜層作裝飾作為,使產(chǎn)品更漂亮。
塑膠具有易成型,價格便宜,質(zhì)量輕,防腐蝕等長處,但塑膠的缺陷也比較,其缺陷也制約了塑膠的應(yīng)用規(guī)模,如不美觀、易老化、機(jī)械功能差、易碎易變型、耐熱差等。經(jīng)過真空鍍膜機(jī)的應(yīng)用,使塑膠外表鍍上特定膜層,東莞匯成真空自主研制出產(chǎn)的蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備將鍍膜機(jī)資料和塑膠產(chǎn)呂結(jié)合,大大提高了塑膠制品的物理、化學(xué)功能。
真空是支撐真空鍍膜機(jī)運(yùn)行的環(huán)境,尤其是需要高真空度的設(shè)備。通常,我們需要達(dá)到高的真空度,而抽氣系統(tǒng)的功能是不可缺少的。但是除了抽氣系統(tǒng)之外,真空鍍膜設(shè)備的操作還有一點,就是工件的脫氣。有些工件內(nèi)部有大量氣體和水分,在設(shè)備加熱時會排入真空室,降低真空度。更有甚者,有些氣體含有有毒成分,直接破壞真空室內(nèi)部機(jī)械結(jié)構(gòu),導(dǎo)致設(shè)備無法正常運(yùn)行。
在鍍膜的過程中,由于工件內(nèi)氣體的受熱膨脹,很容易使已經(jīng)鍍膜的薄膜開裂。當(dāng)然,這種情況的概率取決于工件本身的物理性質(zhì)。比如容易膨脹的,比如塑料,概率就比較高,而對于堅硬的材料,比如金屬,概率就比較低,但也不能忽略。因此,工件的除氣是非常必要的。
與傳統(tǒng)的鍍膜方法相比,真空鍍膜屬于干法鍍膜,其主要方法有以下幾種:
1.真空蒸發(fā)
其原理是在真空條件下,用蒸發(fā)器加熱蒸發(fā)材料使其蒸發(fā)或升華,蒸發(fā)的離子流直接射向基片,在基片上沉積固體薄膜。
2.濺射涂層
濺射鍍膜是一種真空條件,在陰極施加2000V高壓激發(fā)輝光放電,帶正電的氬離子撞擊陰極噴出原子。濺射的原子通過惰性氣氛沉積在襯底上形成薄膜。17_副本.jpg
3.離子電鍍法
即干式螺桿真空泵制造商已經(jīng)推出的真空離子涂層。它是在上述兩種真空鍍膜技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,所以具有兩者的工藝特點。在真空條件下,工作氣體或蒸發(fā)物質(zhì)(膜材料)通過氣體放電被部分電離,蒸發(fā)物質(zhì)或其反應(yīng)物在離子轟擊下沉積在基片表面。在成膜的過程中,襯底總是受到高能粒子的轟擊,這使得它非常干凈。
4.真空卷繞涂層
真空鍍膜是通過物理氣相沉積在柔性基板上進(jìn)行連續(xù)鍍膜的技術(shù),以實現(xiàn)柔性基板的某些功能性和裝飾性。
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