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更新時間:2025-10-06 編號:122v1no6o028d6
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氣相沉積法:摩爾比的對二與水蒸氣在高溫下作用產生對二雙自由基,然后導入90 °C左右的惰性溶劑中進行吸收、蒸發(fā)溶劑濃縮降溫、結晶、過濾得對二二聚體([2.2]對環(huán)芳),精制后,將該二聚體進行高溫裂解產生雙自由基,再導入成膜室在成膜物體表面冷凝并迅速聚合,得到均勻致密的聚對二甲苯薄膜。

在MEMS應用中,聚對苯薄膜表現(xiàn)出一些非常有用的特性。這些特性包括:非常低的內應力、可以在室溫下淀積、保角涂覆、化學惰性以及刻蝕選擇性。聚對二甲苯膜用作電絕緣層、化學防護層、保護層和密封層是十分理想的。聚對二甲苯已用來做微流控溝道、閥門和傳感器(加速度傳感器,壓力傳感器,麥克風和切應力傳感器)。通常采用控制二聚物的量來調控聚對二甲苯覆蓋層的厚度。在原位探測聚對二甲苯厚度的器與末端探測器已經研制出來。

聚對二甲苯也叫帕利靈(Parylene)是一族由對二甲基苯合成的熱塑性塑料聚合物的通稱,它是在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質,可以生成數(shù)百微米內任何厚度的薄膜

聚對二甲苯涂層在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質,可以生成數(shù)百微米內任何厚度的薄膜。利用真空沉積技術可以將膜厚精度控制在1μm。此外,真空沉積的帕利靈具有均一性、保形性,無微孔無缺陷,化學性質不活潑等優(yōu)良特性。

聚對二甲苯是一系列具有多晶線性性質的有機聚合涂層材料的類署名,具有很好的單位厚度絕緣性,并具有化學惰性。聚對二甲苯的種類很多,全都無需填充劑、穩(wěn)定劑、催化劑和塑化劑。
因此,這些材料不會出現(xiàn)津析、排氣或萃取問題,由于聚對二甲苯能氣相沉積,它可涂覆于極細微的空間和空隙,由于其分子級聚合作用,即一次一個分子附著于沉積表面,聚對二甲苯涂層超薄,不會形成氣孔,并能敷形涂覆在元件上。聚對二甲苯還能滿足微小尺寸和極輕重量的裝置要求,任何用來保護微型裝置的材料都不得影響其體積或重量。聚對二甲苯不會顯著增加質量,這對微型植入裝置來說是非常重要的優(yōu)勢。

聚對二甲苯是一種具有性能的敷形涂層材料,問世后在電子領域得到了應用。1972年列入美軍標46058C允許作為印刷電路板的敷形涂層材料,涂層厚度為0.0005-0.002英寸。
作為電子電路的防護涂層,Parylene不需另加防霉劑,本身防霉能達零級。在鹽霧實驗中,與其它涂層相比,Parylene防護的電路電阻幾乎不下降,其它涂層則都有較大的下降。很薄的Parylene涂層能提供的防護性能,還有利于電路板工作熱量的消散,因此作為防護涂層Parylene能使電路具有更高的可靠性,特別是小型高密集度電子電路的防護,聚對二甲苯更顯示出其到的優(yōu)勢。

制備聚對二甲苯膜的方法有多種:涂層法、真空氣相沉積法、等離子增強化學氣相沉積法、化學氣相冷凝法。涂層法是單體溶解在中,配成一定比例的溶液,通過浸涂、噴涂或旋涂等方法制備薄膜,采用催化劑或升溫的方法聚合成聚對二甲苯膜。

聚對二甲苯成膜原理如下:固態(tài)環(huán)二體原理吸熱升華,形成氣態(tài),在真空泵的抽力作用下,進入裂解爐,在690度左右下,環(huán)二體的兩條C-C鏈斷開,形成具有兩個懸空鍵的游離基團,由于電子配對作用的吸引,具有兩個游離基團的單分子聚合,形成線性高分子,聚合度可達5000左右。

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公司成立時間:2010-01-01
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經營模式:生產型
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