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MOX傳感器MCM設(shè)備的組成。測試系統(tǒng)需求為了測試這些設(shè)備，測試系統(tǒng)需要具備以下功能和屬性：測試/校準(zhǔn)MOX傳感器的時(shí)間可能需要幾十分鐘。由于需要在真空和目標(biāo)氣體“浸泡”傳感器，所以需要很長的“soak”時(shí)間。顯然，使用大型、的半導(dǎo)體測試儀，在soak期間需要閑置一段時(shí)間，這樣不能有效的利用這些昂貴的資源。所以，解決方案具有較低的初始資本成本。測試吞吐量很重要。由于駐留時(shí)間長，因此系統(tǒng)支持非常大的并行測試能力，這樣才能將soak時(shí)間內(nèi)分?jǐn)偟蕉鄠€(gè)設(shè)備上DUT負(fù)載板位于一個(gè)可以對氣體濃度進(jìn)行控制的封閉環(huán)境中。