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浙江長(zhǎng)興直拉式單晶爐回收浙江長(zhǎng)興控制屏回收

更新時(shí)間:2025-10-09 [舉報(bào)]
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液壓傳動(dòng)裝置能準(zhǔn)確的完成主爐室和副爐室的開(kāi)啟,爐室、副爐室上升到位后對(duì)稱(chēng)旋出,保主機(jī)穩(wěn)定可靠,并便于機(jī)動(dòng)取出晶體,拆裝熱場(chǎng)系統(tǒng)和清理爐內(nèi)各部。爐體部件采用316L不銹鋼,法蘭整體鍛造,經(jīng)過(guò)振動(dòng)消除應(yīng)力、缺陷檢查和探傷檢驗(yàn)及氦質(zhì)樸檢漏儀檢漏。
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上稱(chēng)重傳感器用于晶棒直徑的輔助控制。伺服電機(jī)和步進(jìn)電機(jī)的混合使用,即可滿(mǎn)足轉(zhuǎn)動(dòng)所需的扭矩,又可實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)速的控制。質(zhì)量流量計(jì)控制流量。自主產(chǎn)權(quán)的控制軟件采用視窗平臺(tái),操作方便簡(jiǎn)潔直觀。多種曲線和數(shù)據(jù)交叉分析工具提供了工藝實(shí)時(shí)監(jiān)控的平臺(tái)。完整的工藝設(shè)定界面使計(jì)算機(jī)可以自動(dòng)完成幾乎所有的工藝過(guò)程。加熱電源采用綠色縱向12脈沖直流電源。比傳統(tǒng)直流電源節(jié)能近15%。特殊的溫場(chǎng)設(shè)計(jì)使晶體提拉速度提高20-30%。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,提拉式單晶爐技術(shù)參數(shù)1、電源電壓:380VAC±5%2、電源頻率:50HZ 3、電源相數(shù):3相3線制4、變壓器容量:190KVA5、加熱器加熱功率:160KW6、加熱溫度:1600℃7、加熱器加熱電壓:60V8、冷爐極限真空度:<a9、晶體直徑:¢6〞~¢8〞10、熔料量 :90Kg11、主爐室尺寸:φ900×1250mm上爐室尺寸:φ900×900mm下?tīng)t室尺寸:φ900×350mm12、翻板閥通徑:φ280mm13、封頭爐蓋高度:410mm14、副爐室尺寸:φ280×250015、籽晶轉(zhuǎn)速范圍:1~40rpm16、籽晶拉速范圍:0.2~8mm/min17、籽晶快速:≥350mm/min18、籽晶在爐內(nèi)有效行程:3500mm19、籽晶在副室內(nèi)有效行程:2100mm20、坩堝升速范圍:0.02~1mm/min21、坩堝快速:≥100mm/min22、坩堝在爐內(nèi)有效行程:400mm23、坩堝轉(zhuǎn)速范圍:1~30rpm24、兩個(gè)電極孔孔距:480mm 25、耗水量:25m3/h26、主機(jī)占地面積:2500x2000mm27、主機(jī)高度:6800mm28、主機(jī)重量:約7500Kg

標(biāo)簽:直拉式單晶爐回收
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