無錫氬氣純度及組分檢測中心
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氬氣是目前工業(yè)上應(yīng)用很廣的稀有氣體。它的性質(zhì)十分不活潑,既不能燃燒,也不助燃。
通過對本裝置的使用,氬氣的純度其中氧含量小于1ppm時,水分也小于1ppm時,制作出的單晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm,這樣就提高了單晶的使用壽命并能達(dá)到要求,贏得客戶的滿意和市場的需求。由于一般液氬汽化后未經(jīng)過純化處理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時氣體供應(yīng)商提供的氬氣超過了此范圍,但使用氬氣的客戶確不知道其質(zhì)量,所以往往給生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質(zhì)量如何,只要經(jīng)過純化裝置的處理后,進(jìn)入拉晶爐的氬氣,純度始終是恒定的。一般O2<0.2ppm,水分<1ppm,這樣穩(wěn)定的氬氣對生產(chǎn)晶體質(zhì)量是有的。
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