TSV絕緣層
TSV 的?屬填充需要用到絕緣層來對硅襯底進(jìn)?充分的電?隔離。絕 緣層的?
藝要求包括良好的階梯覆蓋率，?漏電流，低應(yīng)?，?擊穿電 壓，以及不同
的 TSV 集成引起的加?溫度的限制。?氧化硅(SiO2)或 氮化硅(Si3N4)是常用于
等離?體增強(qiáng)化學(xué)?相沉積(PECVD)或減壓 化學(xué)?相沉積(SACVD)的絕緣層。
然?，當(dāng) TSV 直徑小于 3 μm 時(shí)， 絕緣層更適用于原?層沉積(ALD)。ALD有
?個優(yōu)勢，如較低的熱預(yù) 算，比現(xiàn)有流程更好的階梯覆蓋率，?需再進(jìn)?表面
處理，并且由于較薄 的絕緣層，降低了 TSV 的 CMP 加?時(shí)間。

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TSV 填充
TSV 填充電鍍銅有三種?法:
共形電鍍，自下?上的密封凸點(diǎn)電鍍， 和超共形電鍍。電鍍?法是以各種三維
集成應(yīng)用為基礎(chǔ)的?？偟膩碚f， TSV 的結(jié)構(gòu)是深度在 10 到 200μm 之前的典型
的圓柱形孔。TSV 的深度 取決于芯片或晶圓鍵合時(shí)的所需厚度，? TSV 縱橫
比的?小則由介電 膜、阻擋層和種?層和填充過程決定的。

STYCAST 2561/CAT 11
樂泰 STYCAST 2651MM/CATALYST 23LV
樂泰 STYCAST 2651MM/CATALYST 9
樂泰 STYCAST 2850FT/CAT 11
樂泰 STYCAST 2850FT/CAT 23 LV
樂泰 STYCAST 2850KT/CATALYST 9
樂泰 STYCAST 2850MT/CATALYST 24LV
樂泰 STYCAST 50500D
樂泰 STYCAST A312
樂泰 STYCAST E1070
樂泰 STYCAST E1847
樂泰 STYCAST EFF15 SYNTACTIC FOAM POWDER
樂泰 STYCAST U2500
LOCTITE ABLESTIK 104
LOCTITE ABLESTIK 16-1
LOCTITE ABLESTIK 2000
LOCTITE ABLESTIK 2000B
LOCTITE ABLESTIK 2000T
LOCTITE ABLESTIK 2025D
LOCTITE ABLESTIK 2025DSI
LOCTITE ABLESTIK 2030SC
LOCTITE ABLESTIK 2035SC

小型噴鍍機(jī)臺
配備有Stir Cup適用于研發(fā)以及小批量生產(chǎn)。
特別適合于鍍孔，Sn/Ag電鍍，Cu pillar等電鍍制程。
銅凸塊制程即wafer從晶圓加工完成基體電路后，利用涂膠、黃光、電鍍及蝕刻制程等制作技術(shù)通過在芯片表面制作銅錫凸點(diǎn)，提供了芯片之間、芯片和基板之間的“點(diǎn)連接”，由于避免了傳統(tǒng)Wire Bonding 向四周輻射的金屬“線連接”，減小了芯片面積（封裝效率），此外凸塊陣列在芯片表面，引腳密度可以做得很高，便于滿足芯片性能提升的需求，并具有較佳抗電遷移和導(dǎo)熱能力以及高密度、低阻抗，低寄生電容、低電感，低能耗，低信噪比、低成本等優(yōu)點(diǎn)。

小型噴鍍機(jī)臺
配備有Stir Cup適用于研發(fā)以及小批量生產(chǎn)。
特別適合于鍍孔，Sn/Ag電鍍，Cu pillar等電鍍制程。
體積小，可對應(yīng)2寸到8寸晶圓電鍍。
只需使用10L或更少的鍍液。
配備循環(huán)過濾器
配備供排液泵。
Stir Cup
樂泰3900三防漆，loctite 3900三防漆，軍三防漆，軍三防漆，快速固化三防漆，透明涂層，紫外固化三防漆，噴涂三防漆，共性覆膜三防漆，硅基三防漆。無溶劑三防漆，汽車應(yīng)用三防漆，可兼容阻焊膜，免洗助焊劑，環(huán)保三防漆。Crc70三防漆，crc三防漆，crc2403三防漆，紅色三防漆，透明三防漆。電路板涂敷三防漆，電路板三防漆。船舶漆，耐海水漆



Loctite EO1058單組環(huán)氧膠，單組份環(huán)氧灌封膠，汽車傳感器灌封膠，COB灌封膠，樂泰EO1058灌封膠，樂泰eo1016低溫貯存灌封膠，電源模塊灌封膠，軍灌封膠，軍灌封膠。耐高壓灌封膠，水下灌封膠，油泵灌封膠，耐油灌封膠，黑色灌封膠，透明灌封膠，硅凝膠，道康寧184膠，微型逆變器灌封膠，工業(yè)傳感器灌封膠，醫(yī)療傳感器灌封膠，醫(yī)療傳感器導(dǎo)電膠



晶圓臨時(shí)粘接膠，晶圓劃片液，晶圓臨時(shí)鍵合解鍵合，晶圓藍(lán)膜，芯片臨時(shí)粘接膠，芯片臨時(shí)粘接石蠟，芯片石蠟，晶圓石蠟，芯片藍(lán)膜，發(fā)動機(jī)控制器灌封膠，耐腐蝕灌封膠，耐腐蝕粘接膠，航空膠，航天膠，軍工膠，膠，柔性導(dǎo)電膠，低溫固化導(dǎo)電膠，常溫固化導(dǎo)電膠，柔性絕緣膠，芯片絕緣膠，ic絕緣膠，MMIC導(dǎo)電膠，GaAs導(dǎo)電膠，無溶劑導(dǎo)電膠，自動化芯片粘接導(dǎo)電膠，自動化芯片絕緣膠
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